O princípio de aquecimento da hp( placa de aquecimento) se a resistência elétrica de aquecimento. It é uma parte de aquecimento doinfravermelho distante, de nenhuma luz visível. Toda a energia elétrica torna-se energia térmica. Portanto, eletrotérmica a eficiência é mais do que 90%. O metal fina- filme, formada por material alvo na espessura de 3000a ~5000a, quando ligado, liberação de calor de todos os depositados espaço uniformemente. Hp elemento de aquecimento pode ser projetado em várias densidades de energia, em conformidade com a temperatura da superfície exigência. A densidade de potência pode chegar a 20w/sq-cm, embora o projeto comum de 5w/sq-cm suficiente. Em breve a característica de sputtering são as seguintes: 1. mesmo aquecimento 2. grande área de aquecimento 3. baixa temperatura de aquecimento sob a mesma temperatura surgace 4.infravermelho distante aquecimento radiante.